TEM、STEM 和 SEM （T-SEM） 中纳米尺度的 EDS 元素面分析

清晰的多功能测量装置和细管径几何构型可确保在常规基础上快速可靠的采集 TEM EDS 数据。使用 HyperMap 或谱图获取高光谱成像，我们的软件保存每个像素的谱图和定量分析所需的所有元数据，用于之后的检测和处理。

• 适合不同电子显微镜靴类型的的 EDS 细管径设计和优化的EDS 几何构型确保了信号采集角和检出角
• 有助于避免试样倾斜、吸收、阴影和系统峰
• 无窗探测器可进一步提高检测效率，特别是在低能端，可用于轻元素和高核电荷数元素 L、M 和N 线系能量峰的检测
• 默认模式下自动回缩和自定义可确保探测器更长的使用寿命和更丰富的实验应用
• EDS 可用于原位实验，具有不断变化的数据流，比如高温实验
• 全方面的软件套件 ESPRIT，可用于在线和离线的数据分析

在线和离线的 TEM EDS 软件

TEM 的 QUANAX EDS 包含一个灵活和透明的分析软件包 ESPRIT。元素面分析、HyperMap 或频谱图像以及生成定量元素面分析可使用默认和用户可调的方法设置，允许用户快速、全方面地挖掘样品数据。有标样和无标样的定量分析用于谱图、选区分析、线扫描和元素面分析，以及基于 PCA 的物相分析和自动统计颗粒物分析。

• 带个人硬件密钥和/或 LAN 选项的离线分析软件，用于学生或实验室网络
• 开放透明的用户界面：您看到的就是您得到的
• 定量例程的设置、可修改和保存/重新加载 EDS 数据定量方法
• 电子透明试样有两种定量方法：Cliff-Lorimer 和Zeta 因子法
• 理论的 Cliff-Lorimer 因子可以计算任何电压，包括SEM（SEM 中的 TEM）上的低电压，它基于一个大型的稳步更新的原子数据库
• 使用标准试样轻松对实验的 Cliff-Lorimer 和 Zeta 因子进行软件引导校准
• 标样未涵盖的 Zeta 因子可以使用现有的 Cliff-Lorimer 因子进行计算
• EDS 谱图背景模型的选择：薄样品物理模型，数学模型，厚样品物理模型
• 报表生成和打印格式设置