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日本电子热场发射扫描电子显微镜

JSM-7600F

  1. 产品编号:BHRB-SM004
  2. 所属品牌:日本电子
  3. 产品型号:JSM-7600F
  4. 额定功率:按实际方案提供
  5. 所属类别:日本电子扫描电镜
  6. 所属用途:固体表面测量
  7. 应用领域:不限

产品特性:热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F是兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜。

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产品特点 技术规格 行业标准

高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜,它几乎集成了当今扫描电镜的全部前沿技术,200nA的大电流在保证高分辨率的同时,得到高速样品分析结果,空间分辨率很高,对导电性差的样品也有很多解决办法。JSM-7600F自动化程度高,操作直观方便。

高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F主要特点
1.主动式减震器
2.磁悬浮分子泵系统,无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.减速系统标准配置
9.能量过滤器标准配置
10.可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探头
11.可以选配扫描投射探头(STEM)

高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F技术参数

SEI 分辨率

1.5 nm(1 kV)(在GB 模式下),1.0 nm(15 kV)

放大倍数

25 到 1,000,000x

加速电压

0.1 到 30 kV

束流

1 pA 到 200 nA(15 kV时)

光阑角控制镜

内置

探测器

上方和下方探测器

能量过滤器

新 γ过滤器

柔和光束

内置

数字图像

1,280 x 960,2,560 x 1,920, 5,120 x 3,840

样品交换室

单步加载/卸载

样品台

全对中,5轴马达驱动

类型

IA

II

III

X-Y

70 mm x 50 mm

110 mm x 80 mm

140 mm x 80 mm

倾斜

-5 到 +70°

-5 到 +70°

-5 到 +70°

旋转

360°

360°

360°

工作
距离

1.5 mm 到25 mm

1.5 mm 到 25 mm

1.5 mm 到 25 mm

 

真空系统

2 SIPs,磁悬浮轴承 TMP、RP

节能设计

正常运行:1.2 kVA
休眠模式:1 kVA
操作系统关闭(OFF):0.76 kVA

 

服务体系

Service System

为用户提供详尽的仪器用途、重要参数的说明,还为客户提供不同品牌产品间的性能比较,给用户最中肯的购买建议。

  1. 服务理念

    服务理念

    安装验收合格后整机保修壹年。在质保期内,我们负责为用户的设备提供免费维护、保养和免费更换损坏的零部件;

  2. 售中服务

    售中服务

    为用户提供详尽的仪器用途、重要参数的说明,还为客户提供不同品牌产品间的性能比较,给用户中肯的购买建议。

  3. 售后服务

    售后服务

    安装验收合格后整机保修壹年。在质保期内,我们负责为用户的设备提供免费维护、保养和免费更换损坏的零部件;