产品特性：日本KOSAKA台阶仪ET200用于测量半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等.
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日本KOSAKA台阶仪ET200介绍
日本KOSAKA台阶仪ET200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能准确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET200配备了各种型探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
日本KOSAKA台阶仪ET200产品特点
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料
日本KOSAKA台阶仪ET200技术参数
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型号 |
ET200 |
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大样品尺寸 |
φ160x48mm |
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样品台 |
尺寸 |
φ160 |
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倾斜度 |
±2°（X,Y手动） |
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承重 |
2Kg |
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检出器 |
触针力 |
10μN-500μN（1mg-50mg） |
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范围 |
600μm（0.1nm分辨率） |
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驱动 |
直动式（差动变压器） |
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触针 |
R2μm 顶角60° |
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X轴 |
大测长 |
100mm |
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直线度 |
0.02μm/100mm |
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速度 |
0.005-20mm/s |
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重复性 |
±5μm（定位） |
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Y轴 |
大测长 |
25mm/手动 |
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Z轴 |
大测长 |
50mm |
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放大倍数 |
垂直 |
50-2000000 |
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水平 |
1-10000 |
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监控系统 |
摄像装置 |
1/3 inch CCD |
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监视装置 |
视频捕捉板 |
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移动方法 |
手动 |
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辅助功能 |
教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 |
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应用 |
成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 |
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重复性 |
1σ1nm |
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电源 |
AC90-240V 50/60Hz 300VA |
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外观尺寸 |
W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台） |
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日本KOSOKA台阶仪ET200主要应用—膜厚测量
为用户提供详尽的仪器用途、重要参数的说明，还为客户提供不同品牌产品间的性能比较，给用户最中肯的购买建议。
安装验收合格后整机保修壹年。在质保期内，我们负责为用户的设备提供免费维护、保养和免费更换损坏的零部件；
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