400-886-0902

强大的探针测量

测量要求

扫描面板探针表面三维形貌,提取profile测量探针顶端的磨损情况

主要特点概览

1.非接触式测量,一体化设计

2.三维形貌扫描,多功能数据处理

3.适用于各种材料的准确测量

4.使用简单,装拆方便

5.扫描速度快,定位精度高

6.±0.5到±1μm重复精度保证

7.稳定性高,抗干扰能力强

 

 

测量结果

  探针磨损前高度约为1OOμm左右,磨损后约为80μm

 

 解决现阶段测量装置存在的问题

  1.对测量材料有一定要求

  2.接触式测量,对测量材料有损坏

  3.测量范围小,位置不确定,测定困难

  4.测量速度慢、精度低,测量误差大

  5.结构复杂,成本高

 

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