离子泵是一种用来获得超高真空的真空泵,它具有抽速范围广、工作时没有振动、无需阀门即可形成封闭式抽气系统、意外破真空不会损坏等特点,在超高真空系统上应用广泛。
离子泵控制器可以为离子泵提供工作所需的直流高电压(参考文章:二极泵、三极泵还有 StarCell, 离子泵原理一次搞懂)、显示离子泵的工作状态(电压、电流、真空度等)和为外部的控制系统提供通讯接口以读取参数或控制离子泵。
2017 年,安捷伦发布了全新的单通道离子泵控制器 IPCMini。作为安捷伦(原瓦里安)发明离子泵 60 周年 庆典的献礼之作,IPCMini 集全新功能和小巧身材于一身,迅速赢得了众多离子泵客户的青睐。
身材小巧 使用方便
IPC Mini 仅重 1.9 公斤,它可以直接使用 24V 或 220V 电源供电,无需再外接适配器。小巧的身材包含了一块 3.5 英寸的触摸屏,面板上有可控制并显示输出高压状态的按钮开关,和用于软件升级和数据记录的 USB 接口。使用时可以直接从系统菜单里选择泵的型号,不用进行复杂设置。
通用性强,其它品牌的离子泵也能用
IPCMini 最大功率 40W ,可以控制 0.2-500l/s 的离子泵。它有正高压和负高压两种选项,可以输出最高 7000V 的高压,耐受 20mA 的最大电流,除安捷伦离子泵之外,它还可以兼容其它品牌的离子泵,并且有适配不同类型接头的高压线可选。
提高离子泵低压启动性能 优化离子泵抽速
IPCMini 全新的 iSTEP 功能,该功能可以提高离子泵低压时的启动性能。IPCMini 可以根据离子泵的工作压力在 7000V /5000V /3000V 之间自动调整输出电压,由于离子泵的抽速跟电压相关,使用 IPCMini 时,离子泵的抽速就得到了优化。
真空度显示更准确
使用合适的控制器,是可以把离子泵作为真空计使用来读取真空度的,不过由于离子泵存在漏电流(离子泵工作电流中与潘宁放电无关的部分,例如绝缘污染产生的爬电、泵内放电等等),一般的离子泵控制器所显示的真空度与真实值差别很大,特别是压力比较低的时候(漏电流一般比较小,在压力比较高时几乎可以忽略,而在压力比较低时占工作电流的比例会很大)。
另外,离子泵工作的电压越高,漏电流就会越大,IPCMini 在真空度比较高时自动降低电压可以显著的减小漏电流,使其在全压力范围内都可以更准确的显示真空度。
电流分辨率高 信号输出快
离子泵控制器输出高压的波纹电压会形成电噪声,IPCMini 输出高压的波纹电压仅为同类产品的 1/30 左右,使其可以用于对电噪声非常敏感的应用,比如 SEM。
IPCMini 还具有 1nA 的电流分辨率,和小于 10ms 的信号输出响应时间,可使用其信号连锁控制阀门等其它元件。另外,IPCMini 还可以设置断电恢复后自动输出高压,避免短暂断电对真空造成影响。
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