主要特点
TriglavTM——新开发的配备TriglavTM物镜及探测系统的高分辨扫描电子显微镜

• 独特的无交叉模式及很高分辨率物镜的组合，以获得良好的成像模式
• 可变的探测系统能同时获得各种信号
• 纳米分辨率：0.7nm@15keV
• 角度选择BSE探测器能在低束能下获得很好的形貌及元素衬度
• 实时电子束追踪技术TM能优化电子束性能
• 传统的TESCAN大视野光学器件™设计提供各种工作和显示模式
• EquiPower™提供了优越的电子束稳定性
• 新的肖特基场发射电子枪能使电子束流达到400nA以及实现电子束能量的快速改变
• 新的探测技术可应用于失效分析过程中
• 易损生物样品的成像
• 磁性样品的成像
• 优化的几何镜筒分布能够获得8’晶圆分析手段（SEM探测，FIB微加工）
• 3D电子束技术独特的立体成像
• 友好的用户界面，成熟的软件模块和自动化程序