主要特点：

TriglavTM——新开发的分辨电子光学镜筒并配备TriLensTM物镜及探测系统

• 分辨率物镜（60度浸没式物镜），全新的用于高分辨率分析工作的无漏磁分析物镜，
• 重新设计用于超大视场观察的中间镜。
• 独特的电子束无交叉模式与分辨率物镜相结合，获得了优越的成像性能
• 传统的TESCAN大视野光路设计提供各种工作和显示模式
• 全新的EquiPower™技术进一步提高电子束的稳定性
• 新的肖特基场发射电子枪能使电子束流高达400nA并能实现电子束能量的快速改变
• 通过扩展样品室和专用支架能达到12”晶圆的SEM观察
• TriBETM技术具有三个BSE探测器，可以选择不同角度的信号进行采集。
• 位于镜筒内部的Mid-Ange BSE和In-Beam LE-BSE探测器，
• 用于检测中等角度及轴向的高角背散射电子，而样品室的BSE探测器用于探测大角度范围的背散射电子。
• 并且这三个探测器能探测到低于200eV的低能背散射信号，综合在一起，他们可以提供各种不同衬度的图像
• TriSETM技术具有三个SE探测器，对所有工作模式下采集二次电子信号都进行了优化。
• 位于镜筒内部的In-Beam SE探测器能在短工作距离下采集二次电子。
• 用于电子束减速模式下的SE(BDM)探测器用于分辨成像。In-Chamber SE探测器能提供很好的形貌衬度
• 电子束减速技术(BDT)能在低至50eV的低电压下，也仍具有优越的分辨率（选配）
• 电子束实时追踪技术可对电子束实现实时优化
• 扩展的低真空模式样品室气压能达到500Pa，可用于不导电样品的成像