分析潜力

• XM样品室配备有5轴马达驱动的全计算机化样品台，几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）
• 优化几何设计的许多接口，更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）和其他探头
• YAG闪烁器式探头
• 可选各种探头和配件
• 在涡轮分子泵和无油干式泵的工作下，几分钟就可以达到仪器工作需要的真空，电子枪的真空度由离子泵保持
• 在低真空模式下可以观测不导电的样品，观测磁性样品的效果非常好
• 可选样品室大小与镜筒防振方式

MIRA3配置

MIRA3 XMH
大样品室高真空式电镜，配备有可选的马达驱动样品台，适合观测导电的样品。

MIRA3 XMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。