特征

非色散固态红外检测器，高精度，高分辨率

• 可编程通过功率及电流控制的脉冲电极炉
• 分析精度及准确度精细至ppm级别
• 低空白值，配置适合硅片进样的进样口
• 配置具有保护性能的试剂容器
• 仪器全新的气路设计需要更少的维修
• 氧含量输入采用ppma格式
• Windows® 操作系统

特点及优势

试样的进样系统设计可连续样品加载，低大气空白和高载气纯度。在进样系统的滑槽式的设计中，硅片可连续进样。

双密封，磁加载机械机构以及集成的氧/水气捕集器，使得进样系统实现零大气污染，并保持载气气体的纯度。