椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄薄膜测量，

与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真宽，使得椭偏仪成为一种很具吸引力的测量仪器。
椭偏仪是测量比率，所以它对光束强度的变化或样品的缺陷引起散射光不敏感。椭偏仪在每个波长测量2个量(Ψ and Δ)，

可以确定2个定量比如薄膜厚度，以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。椭偏仪对薄膜Δ参数相位差敏感，能够准确的测量薄膜厚度低至0 Å。