QUANTAX EBSD 系统加上广受欢迎的 OPTIMUS TKD 探测器，是分析 SEM 中纳米材料的解决方案。原因如下：

• 提供 1.5 nm 的空间分辨率
• 在不影响速度和/或数据质量的情况下以低测试电流进行测试
• 在使用浸入式透镜模式的很高分辨 SEM 下工作的 TKD 解决方案
• 全自动内置 ARGUS 成像系统

为什么我需要同轴 TKD？

Ge-Sb-Te (GST) 薄膜样品的暗场像图片，我们感谢斯坦福大学Aaron Lindenberg组提供的样品和图像结果

• 实现空间分辨率
• SEM 中获取取向分布图和物相分布图
• 用于快速测试，同时不影响数据质量/完整性
• 以令人难以置信的速度，通过全自动信号优化，以的对比度和分辨率拍摄 STEM 图像
• 可使用低电流分析束流敏感材料。