专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统

随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。

为OLED面板行业整片测量，尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。

专为OLED面板行业整片测量，LCD测量提供的全自动探针扫描器解决方案
专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计
Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，大样品尺寸可以测2200 mm。

硅片直径的变化

使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。

Park NX-TSH特点
克服了样品大小和重量的限制。
Park原子力显微镜公司新开发的探针扫描器结合了X、Y和Z扫描器，可以直接移动到所需测量的点。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向扫描探针头，X- Y方向可达到100µm X 100 μm和Z方向可达到15 μm ，并有灵活的卡盘，以适应超过300毫米的超大超重样品，用于OLED和LCD大样品分析。 样品固定在样品卡盘上，连接在机架上的探针扫描头移动到样品表面的测量位置。 Park NX-TSH的探针扫描头系统因此克服了样品固定在样品卡盘上时候样品大小和重量的限制。

专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，大样品尺寸可以测到2200 mm.
Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。

具有低噪声位置传感器的15μm高速Z扫描器

NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。 标准Z扫描器由高强度压电堆驱动，并由挠曲结构引导，具有高共振频率，可以实现更准确的反馈。使用可选的长距离Z扫描仪，大Z扫描范围可从15μm扩展到40μm。

具有闭环双伺服系统的100μmx 100μm柔性导向XY扫描器
XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它化的面外运动能提供高度的正交扫描，用快的响应来完成纳米尺度上准确样品扫描。XY 扫描器的每个方向是都装有两个对称的低噪声位置传感器，在大的扫描范围及大样品扫描时能发挥正交性。

自动测量控制，简易操作测量更准确！

NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得准确的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。

Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。

创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。

Park NX-TSH的全自动特征:
自动，半自动，手动模式三种模式随时切换控制
提供自动化程序的编辑方法
实时监控测量过程
自动分析所获得的测量数据

高精度，
自动换针器(ATX)
ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。

电离系统可提供更稳定的扫描环境
我们创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。 由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产生意外静电的风险降至低。

Park NX-TSH技术参数
*本技术参数是可定制的。 请咨询Park原子力显微镜，以获取更多信息。

系统
技术参数
样品尺寸*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg

电动式X方向载物台*
travels up to 625 mm, ± 3 µm分辨率

电动式Y方向载物台*

行程达525 mm, ± 3 µm分辨率

电动式Z方向载物台*
Z轴移动距离为25 mm, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重复性

电动式对焦台*
Z轴行进光学距离为9 mm

COGNEX图案识别
图案校对分辨率为1/4像素

 
扫描器
性能
XY扫描范围
100 μm × 100 μm

XY分辨率
0.15 nm

 
Z扫描范围
15 μm

Z分辨率
0.016 nm

 
AFM和XY移动平台
控制器
ADC
18个频道
4个高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置传感器(24位ADC)
 
DAC
17 channels
2个高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
合规
CE
SEMI S2/S8标准

振动，噪声，静电防护（ESD）性能
地板振动要求
< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)

 
噪音
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure

 
基础设施需求
待机室温
10 °C ~ 40 °C 

工作室温
18 °C ~ 24 °C

湿度
30%至60% (不凝结)

地板振动要求
VC-E (3 µm/sec)

噪音
低于65 dB

 
气动式
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa

电源额定值
208V - 240 V,单相, 15 A (大)

总耗电量
Consult Park Systems

接地电阻
低于100欧姆

 
选项
自动换针器 (ATX)
ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。

 
电离系统
电离系统可快速有效地去除静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产生意外静电的风险降至低。

 
尺寸 & 重量
NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作员工作空间: 3700 mm (w) x 3000 mm (d)