A-110 带空气轴承的PIglideLC线性平台

价格便宜的高性能纳米级定位平台
扫描应用的好的选择或好的定位
无尘室兼容
运动平台的尺寸160毫米×200 毫米
行程达400 毫米
负载容量达100 牛

产品概述
PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现高精度和可靠性

应用领域
PIglide定位系统适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和扫描。

由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优先选择。

附件和可选配件
编码器
PIglide Filter und Druckregler
单轴和多轴运动控制器
XY装置和个性化配置
花岗岩底座板和隔振系统