无尘室兼容
运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
行程50 毫米至750 毫米
分辨率达1纳米

产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至zui快速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和扫描。

由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。

附件和可选配件
编码器
PIglide过滤器和空气预处理器
单轴和多轴运动控制器
气动夹紧/解锁选项
XY装置和个性化配置
电缆轨道变型
用于垂直（Z）方向的配重选项
可提供定制版
花岗岩底座板和隔振系统

(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定4096x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。
(4)通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
(5)为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
(6)假定空气轴承工作压力为80磅/平方英寸（550千帕）。