产品特性:378系列--半导体检测用显微镜FS-70的光学系统是为畅销的FS60型(后升为FS70型)而开发的。378系列-半导体检测用显微镜它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。
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378系列--半导体检测用显微镜FS-70的特点
1.此光学系统是为畅销的FS60型(后升为FS70型)而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。
2.FS70L支持3种YAG激光波(1064nm,532nm,355nm),FS70L4支持2种波长(532nm,266nm),可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。然而,使用三丰量具对显微镜的激光穖的性能,三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。
3.FS70Z的标准功能有:亮视场,微分干涉对比(DIC)和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。
5.操作的设计:FS70采用正像光学系统(视场中的像与样品方向相同)并用橡胶把手加大微调手轮。
378系列--半导体检测用显微镜FS-70的性能参数
型号 |
FS-70 |
FS70-TH |
FS70Z |
FS70Z-TH |
FS70L |
FS70L-TH |
FS70L4 |
JS70L4-TH |
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货号 |
378-184-1 |
378-184-3 |
378-185-1 |
378-185-3 |
378-186-1 |
378-186-3 |
378-187-1 |
378-187-3 |
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短基座型号 |
FS70-S |
FS70-THS |
FS70Z-S |
FS70Z-THS |
FS70L-S |
FS70L-THS |
FS70L4-S |
FS70L4-THS |
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货号 |
378-184-2 |
378-184-4 |
378-185-2 |
378-185-4 |
378-186-2 |
378-186-4 |
378-187-2 |
378-187-4 |
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对焦 |
50mm行程,同心焦距粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)手轮(左、右0) |
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图像 |
正像 |
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瞳距 |
Siedentopf型、调节范围 |
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视场数 |
24 |
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俯角 |
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0°至20° |
|
0°至20° |
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0°至20° |
|
0°至20° |
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透过率 |
50/50 |
100/0或0/100 |
50/50 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
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管镜头 |
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内置激光射线滤光片 |
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适用激光 |
1× |
1× |
1× |
2×zoom |
1× |
1× |
1× |
1× |
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适用激光 |
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|
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1064/532/355mm |
532/355mm |
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相机端口 |
C-mount(使用适配器B选件) |
使用带有电视端口的激光片 |
C-mount插座(带有绿色滤光片转换开关) |
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照明系统、可选 |
亮视场反射照明(科勒照明、带光圈) 12V 100W光纤、光导长度:1.5m、功耗150W |
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物镜、可选 |
M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo |
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物镜、可选 |
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M/LCD Plan NIR M/L CD Plan NUV |
M Plan UV |
M Plan UV |
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载重 |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
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重量(主机) |
6.1kg |
7.1kg |
6.6kg |
7.5kg |
6.1kg |
7.1kg |
6.6kg |
7.5kg |
378系列--半导体检测用显微镜FS-70的技术参数
对焦
方法:有同心粗调和微调手轮(左和右)
范围:50mm测量范围,微调0.1mm/rev同心粗调3.8mm/rev
三目镜筒图像:正像
瞳距:Siedentopf型
调节范围:51-76mm
视场数:24
俯角:0°-20°(仅用于-TH,THS型号)
照明系统:亮视场反射照明(科勒照明、带光圈)
光源:12V100W光纤,光导长度1.5m、功耗150W
物镜(选件):M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
为用户提供详尽的仪器用途、重要参数的说明,还为客户提供不同品牌产品间的性能比较,给用户最中肯的购买建议。
安装验收合格后整机保修壹年。在质保期内,我们负责为用户的设备提供免费维护、保养和免费更换损坏的零部件;
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