由于客观条件，任何光学系统都不能生成理论上理想的像，各种像差的存在影响了成像质量。所谓像差，是指显微镜透镜或反射镜所呈的像与原物面貌并非完全相同的现象。像差又可以分为几类，例如球面像差是由于一点光源发散的光线被分聚在不同的点上的缘故。色彩像差的原3是透镜的折光指数随光波的长短而变化，从而引起像的边缘呈现色彩。可以理解为实际像与根据单透镜理论确定的理想像的偏离，这些偏离是折射定律造成的。像差是由透镜对色光的不同弯曲能力所致，并造成带有色晕的像。  所以组成一个光学系统中的透镜质量对显微镜的成像影响是非常大的。

 

    透镜在光学镀膜的原理是高能离子或原子轰击某金属靶，并把自己的动量转给靶中的原子，后者得到足够的能量时就有可能脱离与相邻原子的结合，由靶中逸出。这些被释放出的原子(或原子团)沉积在样品表面形成了撞击后，便由四面八方附着在样品表面.如果它们还有足够多的能量，光学显微镜则到达待搜盖样品的表面时有可能射入1-2个原子层的深度。

 

    金属原子在样品表面的沉积速度与许多因素有关.首先，轰击金属阴极靶的气体离子能量增加时溅射出的金属原子能量也大。其次，容器中的气体压强大或放电电流密度增高时，气体正离子数量和密度也大。第三，样品与金属靶的距离越近，沉积速度越d，但过度接近会使样品受热，一方面损伤标本，同时气体中的杂质也影响沉积速度。