三丰工业测量显微镜广泛应用于多个行业,特别在电子行业是观察电路板的构造和测量距离的“得力”仪器。关于显微镜的测量基础知识,今天小编就和您浅聊一下。
首先,我们从显微镜的主要构成和光路说起,请看下图:
照明方式
透射照明
采用透过轮廓光观察的方法,特别是观察测量轮廓时使用,边缘清晰易于观察。
反射照明
垂直照射测量工件的表面,用来表面性状的观察和测量。
使用显微镜时,您可能会遇到显微镜的专业用语,这些用语都代表什么意思呢?
专业用语
综合放大倍率
视场数F.N
指目镜能否在广视野下进行观察的指标。F.N=Field Number
实视场 FOV
指通过目镜观察时实际观察和观察工件的实际范围。FOV:Field Of View
透过物镜与成像镜头的光在分划板上(成像镜头焦点位置)成像,
观察被目镜放大后的像。
PC显示倍率(TV综合倍率)
PC显示器倍率(TV综合倍率)是指相机摄像元件对角线长度与PC显示器屏幕对角线长度之比。当显微镜通过CCD 设备连接至电脑上进行成像观察时,就需要评价显示器倍率了。
工作距离 WD
聚焦时物镜镜头头部顶点到检查物体表面的距离。工作距离越长,聚焦时操作性越好,不用担心镜头会碰上检查物体。WD:Working Distance
工作距离的示意图
齐焦距离 PFD
聚焦时从物镜安装位置到合焦時检查物体表面的距离。PFD:Par Field Distance
焦点距离 FD
焦点距离指镜头(主点)到焦点的距离。FD:Focus Distance
焦点深度 DOF
聚焦之后,聚焦位置前后移动,也能清晰的观察的前后移动范围。DOF:Depth Of Focus
高倍率镜头倍率越高较深越浅(短)
观察方法
明视场观察
垂直照射测量物表面,适用于金属、印刷电路板、浅孔的表面观察。
暗视场观察
通过对从工件发出的散射光进行观察,可完成在明视场下观察不到的划痕、尘埃、凹凸,以及胜任低反射工件的观察。
偏光观察
观察具有偏光特性的物质,适用于半导体材料、液晶、结晶、金属组织、矿物等表面观察。
微分干涉(DIC)观察
利用Nomarski棱镜将光线分为两束,形成明暗和对比度变化,可进行立体观察。适用于观察硅片的结晶缺陷、磁头研磨面的损伤检查、涂装面、金属组织、矿石表面等。