日本电子发布新型智能技术肖特基场发射扫描电镜JSM-IT800

提供来源:上海百贺日期：2020年05月29日

产品开发背景

扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域。随着SEM的应用范围不断扩大，不仅包括研究和开发，还包括生产现场的质量控制和产品检验，SEM用户需要快速高质量的数据采集，以及简单的成分信息确认和无缝的分析操作。

扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学、生物学等领域，且其应用领域还在不断延。同时，应用的场景也涵盖了从基础研究开发，再到生产制造现场的质量控制和产品检测。与此相应，SEM用户对快速高质量的数据采集、简单的成分信息确认，以及无缝的分析操作等的需求也越来越高。

为了满足这些需求，带有智能技术（IT）平台的JSM-IT800集成独特的“镜头内肖特基Plus场发射电子枪”，用于高分辨率成像及快速元素映射，并配置新一代电子光学控制系统“Neo Engine”，以及易用性的GUI“ SEM”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪。此外，JSM-IT800可提供两种类型的物镜配置，以满足不同用户的需求。

JSM-IT800的两种版本为：用于通用FE-SEM的混合镜头版本（HL版本）和用于增强的高分辨率观察和各种分析的混合镜头版本（SHL版本）。此外，SHL版本的JSM-IT800配备了新的上部混合探测器（UHD），可获取更高的信噪比图像，以研究样品的精细结构。

此外，JSM-IT800还可以配备新的闪烁体背散射电子检测器（SBED）和多功能背散射电子检测器（VBED）。SBED使得即使在低加速电压下也能以高响应度采集图像并产生鲜明的材料对比度。而VBED可以获取3D、不均匀度和材质对比的图像。

产品特点

镜头内肖特基Plus场发射电子枪

电子枪和低像差聚光镜的增强集成提供了更高的亮度。在低加速电压下（5 kV时为100 nA）可获得足够的探针电流。独特的In-lens肖特基Plus系统可实现从高分辨率成像到快速元素映射，电子背散射衍射（EBSD）分析以及软X射线发射光谱（SXES）的各种应用，而无需更改透镜条件。

Neo Engine（新电子光学引擎）

Neo Engine是一种电子光学系统，累积了多年的JEOL核心技术。即使更改不同的观察或分析条件，用户也可以执行稳定的观察。自动功能的高度可操作性大大增强。

SEM/ EDS集成

GUI“ SEM”与SEM成像和EDS分析完全集成，可提供无缝、直观的操作。通过合并可选的软件附件（例如SMILENAVI）可以增强JSM-IT800的功能，以帮助新手用户并为他们提供学习路径，并且可以使用LIVE-AI过滤器（Live Image Visual Enhancer–AI）来获取更高质量的实时图像。

混合镜头（HL）版本和混合镜头（SHL）版本

基于静电场和电磁场透镜的组合，有两种类型的物镜可用。不同的配置可以满足用户的各种需求，实现高空间分辨率的成像和从磁性材料到绝缘子的各种样品的分析，同时保持JSM-IT800的相同功能。

上层混合探测器（UHD）

内置于SHL型物镜中的UHD大大提高了从标本产生的电子的检测效率。这导致获得具有更高信噪比的图像。