主要特点概览

1. 非接触式测量，一体化设计
2. 三维形貌扫描，多功能数据处理
3. 适用于各种材料的准确测量
4. 使用简单，装拆方便
5. 扫描速度快，定位精度高
6. ±0.5到±1μm重复精度保证
7. 稳定性高，抗干扰能力强

测量结果

表面起伏高度约为±30μm

解决现阶段测量装置存在的问题

1. 对测量材料有一定要求
2. 接触式测量，对测量材料有损坏
3. 测量范围小，位置不确定，测定困难
4. 测量速度慢、精度低，测量误差大
5. 结构复杂，成本高