主要特点概览

1.非接触式测量，一体化设计

2.三维形貌扫描，多功能数据处理

3.适用于各种材料的准确测量

4.使用简单，装拆方便

5.扫描速度快，定位精度高

6.±0.5到±1μm重复精度保证

7.稳定性高，抗干扰能力强

测量结果

  探针磨损前高度约为1OOμm左右，磨损后约为80μm

 解决现阶段测量装置存在的问题

  1.对测量材料有一定要求

  2.接触式测量，对测量材料有损坏

  3.测量范围小，位置不确定，测定困难

  4.测量速度慢、精度低，测量误差大

  5.结构复杂，成本高