

EDS 能谱仪常搭配 SEM、TEM 开展材料微区元素分析。依靠特征 X 射线能量差异识别元素,分析速度优于 WDS,检测区间 B-U。具备点、线、面三种分析模式;点分析精度最高,面分布直观展示元素偏析。同时具备束流小、试样位置宽容度高等优势,需结合谱峰判断元素真实性。

材料研发迈入数智闭环时代!岛津联合中国科学院物理研究所EX11组,基于HMV-G31-FA全自动显微维氏硬度计完美定制自动化方案,搭配外部机械臂联动进出样,补齐国内先进合金数智研发平台高通量表征短板,形成全流程无人化检测示范案例,为各大合金智能实验室提供可复制自动化落地范本。

PCB电子工业的重要部件之一,几乎每种电子设备,小到电子手表、计算器,大到计算机,通讯电子设备,军用武器系统,只要有电子元器件,为了它们之间的电气互连,都要使用印制板。

在产品开发和生产过程中,对半导体元器件进行详细检查,以确保IC芯片、显示器及其他电子元器件的质量与可靠性。它涉及缺陷、划痕或污染(颗粒、残留物等)的检测和分析)。

随着中国半导体产业链的快速升级与迭代演进,芯片制程持续向精细化方向突破,封装工艺日趋复杂多元。传统晶圆检测显微镜受限于单一功能架构与有限检测维度,已很难满足中国客户多元化的检测(量测)需求。

键合(Bonding)和封装(Packaging)作为确保芯片性能与可靠性的关键工艺,其内部任何微小的缺陷,如界面空洞、裂纹、对齐偏差等,都可能导致最终产品的失效。然而,这些缺陷深藏于芯片内部,传统的可见光显微镜对此无能为力

徕卡公司针对微电子和半导体行业的检验、流程控制或缺陷和故障分析的应用特点,可提供不同需求的个化性化解决方案。

目前广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析、TEM制样等。

且具有无损分析和缺陷深度分析等功能,在半导体各环节的失效分析中都扮演着重要角色